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超纯水系统工艺流程

发布日期: 2019-07-15
浏览人气: 1856
   超纯水系统工艺流程
  超纯水系统总体来说一般可分为三个部分:超纯水制造区(CUB部分)、超纯水抛光循环区(FAB部分)、超纯水输送管网(FAB各使用区)。
  超纯水系统工艺流程:
  1、预处理→反渗透→水箱→阳床→阴床→混床→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精制混床→精密过滤器→用水对象
  2、预处理→一级反渗透→加药泵(PH调节)→中间水箱→二级反渗透→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象
  3、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象
  4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精制混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象
  超纯水系统主要特点:
  *该系统一切动作均在预设程序下自动进行,具备全自动功能。
  *系统结构布置紧凑,有效节约空间。
  *系统能耗低,制水成本低廉。
  *系统运行安全可靠,供水管路封闭,出水水质稳定。
  超纯水系统适用范围:生产半导体、光伏太阳能、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件等电子工业用超纯水系统。
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